Высоковольтные измерители параметров изоляции

ROSEL logo rgbEN color

Исследование с помощью сканирующего электронного микроскопа VEGA 3 SBН

Исследование с помощью сканирующего электронного микроскопа VEGA 3 SBН



В июле 2013г. внашем институте введен в эксплуатацию сканирующий электронный микроскоп VEGA 3 SBН производства компании TESCAN (Чехия). Микроскоп VEGA 3 SBН - это компактный сканирующий электронный прибор с вольфрамовым катодом с термоэмиссией.

В состав микроскопа входят:

  • аналитическая камера образцов,
  • моторизованный столик,
  • современная электронная оптика,
  • персональный компьютер.
Основные технические характеристики

Разрешение (SE), нм

3 при 30 кВ
8 при 3 кВ

Ускоряющее напряжение,В

от 200 до 30 х103

Ток пучка электронов, пА

от 1 до 2 х 103

Внутренний диаметр камеры образцов,мм

160

Ширина дверцы камеры образцов,мм

120

Число портов

11

Режим высокого вакуума,Па

< 9 х 10-3а

Режим среднего вакуума (SBU),Па

3 – 150 а

Режим низкого вакуума (SBU),Па

3 – 500

Режим низкого вакуума (SBU),Па

3 – 500

Максимальная высота образца,мм

30

АО «НИИЭМП» предлагает услуги по исследованию с помощью сканирующего электронного микроскопа VEGA 3 SBН топографии поверхности различных проводящих образцов и материалов, оценке бесконтактным способом шероховатости поверхности, анализу форм и размеров отдельных зерен на изображении металлографического шлифа, 3D-измерениям.

Исследование бескислородной меди Исследование контактного слоя в ВКУ Исследование молибденовых прутков Исследование тонкопленочных резисторов
Исследование бескислородной меди Исследование контактного слоя в ВКУ Исследование молибденовых прутков Исследование тонкопленочных резисторов
Заявки направлять по e-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра.