В июле 2013г. внашем институте введен в эксплуатацию сканирующий электронный микроскоп VEGA 3 SBН производства компании TESCAN (Чехия). Микроскоп VEGA 3 SBН - это компактный сканирующий электронный прибор с вольфрамовым катодом с термоэмиссией.
В состав микроскопа входят:
Основные технические характеристики | |
---|---|
Разрешение (SE), нм |
3 при 30 кВ |
Ускоряющее напряжение,В |
от 200 до 30 х103 |
Ток пучка электронов, пА |
от 1 до 2 х 103 |
Внутренний диаметр камеры образцов,мм |
160 |
Ширина дверцы камеры образцов,мм |
120 |
Число портов |
11 |
Режим высокого вакуума,Па |
< 9 х 10-3а |
Режим среднего вакуума (SBU),Па |
3 – 150 а |
Режим низкого вакуума (SBU),Па |
3 – 500 |
Режим низкого вакуума (SBU),Па |
3 – 500 |
Максимальная высота образца,мм |
30 |
АО «НИИЭМП» предлагает услуги по исследованию с помощью сканирующего электронного микроскопа VEGA 3 SBН топографии поверхности различных проводящих образцов и материалов, оценке бесконтактным способом шероховатости поверхности, анализу форм и размеров отдельных зерен на изображении металлографического шлифа, 3D-измерениям.
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
Исследование бескислородной меди | Исследование контактного слоя в ВКУ | Исследование молибденовых прутков | Исследование тонкопленочных резисторов |
Заявки направлять по e-mail: | Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. |