Исследование материалов и изделий с помощью растрового электронного микроскопа VEGA 3 SBH с системой рентгеновского энергодисперсионного микроанализа.
В состав микроскопа входят детекторы: SE, BSE, EDS.
Микроскоп позволяет:
- изучать нанообъекты и наноструктуры от 3 нм;
- производить поиск дефектов изделий;
- измерять угловые и линейные размеры мелких деталей;
- проводить гранулометрический анализ порошков;
- определять химический состав материалов от бериллия до урана, порошков и изделий (без разрушения);
- строить карты распределения веществ в материалах и изделиях с выявлением различных фаз веществ.
Требования к образцам:
- габаритные размеры:
- высота не более 30 мм;
- ширина и длина не более 150 мм;
- для получения изображений хорошего качества при больших увеличениях образцы должны быть токопроводящими или с напылением токопроводящего покрытия (обычно углерод толщиной несколько нанометров);
- микрошлифы материалов для точного определения химического состава с погрешностью измерения менее 0,1% (для неподготовленных образцов погрешность измерения может доходить до нескольких процентов).
 |
 |
Дефекты на металлофольговом резисторе |
Измерение угловых и линейных |
 |
Гранулометрический анализ порошка |
 |
Определение химического состава |
 |
Построение карт распределения веществ в микросхеме |
 |
Анализ фаз |
Определение твердости материалов
В лаборатории имеется микротвердомер ПМТ-3, который позволяет определять твердость различных материалов по Викерсу.
Физические и химические исследования
1. Определение механических параметров материалов в виде проволоки и ленты при испытании на растяжение по ГОСТ 1497-73:
- усилие растяжения от 5сН до 500Н;
- скорость растяжения от 1 до 50мм/мин;
- начальная длина образца от 10 до 500мм;
- компьютерная обработка результатов испытания с построением диаграммы растяжения и расчётом механических параметров;
- определение коэффициента Пуассона резистивных материалов в виде микропроволоки.
Возможно определение коэффициента тэнзочувствительности.
2. Термическая обработка материалов в вакууме:
- температура обработки от 300 до 500 0С;
- остаточное давление воздуха в камере 5х10 -4мм.рт.ст;
- точность задания температуры ±1 0С;
- точность поддержания температуры ±1 0С;
- геометрические размеры образцов не более 200х10х10 мм.
3. Определение микротвёрдости материалов.
4. Дифференциально-термический анализ:
- возможность определения теплофизических характеристик материалов (изменение веса (ТГ), скорость изменения веса (ДТГ), изменение содержания тепла (ДТА) в зависимости от нагрева до 1000 (1500) 0С с постоянной скоростью);
- определение термографических характеристик материалов при квази-изобарно-изометрических исследованиях до 1000 0С.